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혜진시스 >> 제품소개 >> F-01

F-01 / FE-SEM


FE_SEM
  • 본 장비는 쇼트키 방식의 고분해능 주사전자현미경이다.

  • 가속전압 25kV에서 2nm의 분해능을 가진다.

  • knife-edge method를 이용하여 빔 사이즈 측정이 가능하다.

  • 5축 스테이지를 가지고 있으며, x100에서 x300,000 배율로 측정이
         가능하다.

  • Application Data

    FE_SEM

    Specifications

    Items Description
    •  Magnification    x 100 ~ 300,000
    •  Prove Current    10 pA ~ 1 nA
    •  Accelerating Voltage    1 ~ 25 kV
    •  Specimen Size    12 ~ 25 mm
    •  Specimen Traverse    X: ±25 mm, Y: ±25 mm, Z: 3 ~ 35 mm,
       T: 10˚ ~ 60˚, R: Endless
    •  Resolution    2 nm
    •  Detector    Everhart-Thornley Detector
       PIN-Diode Detector
    •  Vacuum Pump    Turbo Molecular Pump (300L/min),
       Rotary Pump (400L/min), Ion Pump