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혜진시스 >> 제품소개 >> IM-02

IM-02 / Ion Miller


FE_SEM
  • 본 장비는 Ion Beam으로 시료의 단면가공을 빠르게 수행한다.

  • 복합재료로 구성된 시료의 단면가공에 효과적이다.

  • 기계가공에서 발생할 수 있는 가공면의 변형이 거의 일어나지 않는다.

  • 조작이 간편하고 쉬워서 누구나 사용이 가능하다.

  • 공간이나 환경의 제약없이 어디에서나 설치 및 사용이 가능하다.


  • Application Data

    FE_SEM

    Specifications

    Items Description
    •  Frame Size    W: 560 mm, L: 560 mm, H: 450 mm
    •  Ion Beam Size    1.5 ~ 2 mm
    •  Specimen Range    H: 100 ㎛, W: 1.5~2mm
    •  Milling Angle    Plat 0˚
    •  Milling Rate    0.1 mm/h [Si 기준]
    •  Specimen Motion    Rotation 45˚
    •  Movable Range    X: ±12 mm, Y: ±5 mm
    •  Gas Requirements    Argon Gas