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혜진시스 >> 제품소개 >> M-01

M-01 / Mini-SEM


FE_SEM
  • 본 장비는 열전자방사형의 소형 주사전자현미경이다.

  • 가속전압 30kV에서 5nm의 분해능을 가진다.

  • 샘플교환 후, 3분 이내에 장비의 운용이 가능하다.

  • UI가 간단하고 쉽게 익힐 수 있어서, 누구나 쉽게 사용이 가능하다.

  • 5축 스테이지가 적용 되었으며, x 100 ~ 100,000 측정이 가능하다.

  • Application Data

    FE_SEM

    Specifications

    Items Description
    •  Magnification    x 100 ~ 100,000
    •  Prove Current    10 pA ~ 1 nA
    •  Accelerating Voltage    1 ~ 30 kV
    •  Specimen Size    12 ~ 25 mm
    •  Specimen Traverse    X: ±12 mm, Y: ±12 mm, Z: 8 ~ 35 mm,
       T: 10˚ ~ 60˚, R: Endless
    •  Resolution    5 nm
    •  Detector    Everhart-Thornley Detector
       PIN-Diode Detector
    •  Vacuum Pump    Turbo Molecular Pump (300L/min),
       Rotary Pump (400L/min)