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혜진시스 >> 제품소개 >> S-01

S-01 / Static-SEM


FE_SEM
  • 본 장비는 전기장 렌즈를 적용한 소형 주사전자현미경이다.

  • 타 진공장비에도 결합이 용이하여 활용성이 뛰어나다.

  • 전기장 렌즈의 특성에 따라, 영상의 회전없이 직관적인 관찰이 가능하다.

  • 두개의 집속렌즈를 사용하여, 정밀한 빔사이즈 컨트롤이 가능하다.

  • 5축 스테이지가 적용되어, 시료의 관찰이 용이하다.


  • Application Data

    FE_SEM

    Specifications

    Items Description
    •  Magnification    x 100 ~ 8000
    •  Prove Current    10 pA ~ 1 nA
    •  Accelerating Voltage    1 ~ 10 kV
    •  Specimen Size    12 ~ 25 mm
    •  Specimen Traverse    X: ±7.5 mm, Y: ±12.5 mm, Z: 5 ~ 30 mm,
       T: 10˚ ~ 60˚, R: Endless
    •  Resolution    80 nm
    •  Detector    Everhart-Thornley Detector
       PIN-Diode Detector
    •  Vacuum Pump    Turbo Molecular Pump (300L/min),
       Rotary Pump (400L/min)